Modélisation de la cinétique électronique dans les gaz [a-SiH4] appliquée aux dépots de couches minces par procédé plasma
Type doc. :
Thèses / mémoires
Langue :
Français
Auteur(s) :
Année de soutenance:
2004
Sujet(s):
| N° Bulletin | Date / Année de parution | Titre N° Spécial | Sommaire |
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| N° d'Exemplaire / inventaire | Cote | Localisation | Type de Support | Type de Prêt | Statut | Date de Restitution Prévue | Réservation |
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| 700P/2004/03 | 700P/2004/03 | BIB-TIZI OUZOU / Mag du RDC | interne | disponible |
Zembri, D. & Lamrous, O. (2004). Modélisation de la cinétique électronique dans les gaz [a-SiH4] appliquée aux dépots de couches minces par procédé plasma (Magister) . Tizi-Ouzou.