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Mécanismes d'oxydation des films Si-LPCVD fortement dopés au bore

Type doc. :

Thèses / mémoires

Langue :

Français

Année de soutenance:

1988
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N° Bulletin Date / Année de parution Titre N° Spécial Sommaire
N° d'Exemplaire / inventaire Cote Localisation Type de Support Type de Prêt Statut Date de Restitution Prévue Réservation
700EL/1988/02 700EL/1988/02 BIB-TIZI OUZOU / Mag du RDC interne disponible
Boukezzata, M. & Bielle-Daspet, D. (1988). Mécanismes d'oxydation des films Si-LPCVD fortement dopés au bore (Doctorat) . Toulouse.